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磁悬浮轴承电容传感器

摘要：针对目前磁悬浮轴承普遍采用电涡流传感器作为位移检测，而对于电容传感器的研究相对较少

的现状，从电容传感器在磁悬浮轴承系统中的应用难点出发，提出了一种适用于检测浮地目标微位移的非

接触式电容传感器，通过有限元仿真，验证了传感器结构的可行性，并分析了传感器结构参数对传感器性

能的影响。设计微小电容检测电路，包括前级ＣＶ转换电路、精密检波电路、滤波电路以及差分放大电

路，结果表明：该结构的电容传感器以及检测电路能够满足磁悬浮系统反馈环节的性能要求。

关键词：磁悬浮；电容传感器；电容检测；开关检波；有限元仿真



Ｍａｇｌｅｖｂｅａｒｉｎｇｃａｐａｃｉｔｉｖｅｓｅｎｓｏｒ

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｃｕｒｒｅｎｔｓｉｔｕａｔｉｏｎｔｈａｔｍａｇｎｅｔｉｃｓｕｓｐｅｎｓｉｏｎｂｅａｒｉｎｇｇｅｎｅｒａｌｌｙｕｓｅｓｅｄｄｙｃｕｒｒｅｎｔｓｅｎｓｏｒａｓ