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柔性电容式压力传感器制备及测量综合实验

摘要：柔性电容式压力传感器可用于可穿戴器件和人体生理信号监测而受到

泛关注，为此设计了基于柔性电容式压力传感器制备与测量的综合实验。制备

基于金（Ａｕ）电极，空气隙和二氧化硅（ＳｉＯ）为介电层，聚二甲基硅氧烷／聚对苯２

甲酸乙二醇酯（ＰＤＭＳ／ＰＥＴ）为基底的柔性压力传感器，并搭建一套可实现电容

ＬａｂＶＩＥＷ

压力传感器实时测量的装置，采用编程控制其测量过程，实现数据实

显示和存储，并对制备的柔性电容式压力传感器进行参数测量。该实验将压力

感器制备方法与微电子器件制造工艺及手段相结合，不仅可以激发学生的科研

趣，也有利于提升学生的创新能力。

关键词：柔性电容式压力传感器；制备与测量；创新型实验

ＣｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅＥｘｐｅｒｉｍｅｎｔｏｎＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆ

ＦｌｅｘｉｂｌｅＣａｐａｃｉｔｉｖｅＰｒｅｓｓｕｒｅＳｅｎｓｏｒｓ

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ＡｂｓｔｒａｃｔＲｅｃｅｎｔｌｙｆｌｅｘｉｂｌｅｃａｐａｃｉｔｉｖｅｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｓｈａｖｅｒｅｃｅｉｖｅｄｗｉｄｅａｔｔｅｎｔｉｏｎｄｕｅｔｏｉｔｓｕｎｉｑｕｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｉｎ

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ｏｎｆｌｅｘｉｂｌｅｃａｐａｃｉｔｉｖｅｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｓ，，

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学生课堂所学理论知识与实践结合的重要枢纽。当前

０引言

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