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差压式电容传感器膜片的变形分析与优化设计

摘要：为研究差压式电容传感器测量膜片的受压变形，将经典的vonKarman薄板理论应用于受

有预张力作用的弹性圆薄板问题，采用同伦分析法给出近似解析解.将求解结果与有限元软件

ANSYS的仿真结果进行对比，表明两者吻合度较高.预张力大小对膜片在受压情况下的变形影响

较大，从而影响传感器的电容输出特性.利用传感器性能测试验证了预张力对传感器非线性特性的

影响.结果表明：选择合适的预张力可以有效提升传感器的线性度，适当降低膜片厚度可以提高输

出的灵敏度.分析结果对差压式电容传感器的膜片设计具有重要的参考价值.

关键词：传感器膜片；预张力；变形分析；同伦分析；非线性

DeformationAnalysisandOptimalDesignofMembranefor

DifferentialPressureCapacitaneeSensor

Abstract:Thecompressiondeformationofthemeasuringmembraneofthedifferentialpressurecapacitance