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一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法,涉及半导体刻蚀技术领域,解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置,并对其空间不均匀性进行评估校准”,装置包括:腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块,所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直;方法包括:通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强;基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强;通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数,得到等离子体二维空间分布;评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457467A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311743459.6
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址15000
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