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本发明涉及极紫外光刻技术领域，特别涉及一种极紫外光的输出控制方法、装置及曝光设备，本发明的极紫外光的输出控制方法包括：对预设电离介质进行预电离以生成对应的等离子体团；控制预设脉冲激光光束实现分束，生成主脉冲光束和转换光束，以确保所述主脉冲光束和转换光束能够基于预设时间差照射到所述等离子体团上；以及切换所述预电离为强电离，以输出所述极紫外光。转换光束辅助等离子体团压缩，保证完全电离过程中提高极紫外光的输出效率，同时解决等离子体团的压缩问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117452777A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311416263.6
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人光科芯图（北京）科技有限公司
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