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本发明提供一种惯性器件及其制作方法。该惯性器件的制作方法包括：在第一衬底上形成阻挡层，阻挡层共型地覆盖第一衬底上的顶部线路图形层；在阻挡层上形成第一牺牲层，第一牺牲层覆盖阻挡层且填满顶部线路图形层中线路之间的凹坑；以阻挡层作为停止层对第一牺牲层进行平坦化处理；在顶部线路图形层和第一牺牲层上形成第二牺牲层；在第二牺牲层上形成器件主结构层；刻蚀去除部分第二牺牲层，在器件主结构层和顶部线路图形层之间形成空腔。如此，可以提高第二牺牲层的厚度均匀性和平整度，改善惯性器件的Z轴电容，减小寄生电容的影响。所述
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117446745A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311400011.4
(22)申请日2023.10.26
(71)申请人绍兴中芯集成电路制造股份有限公
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