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本实用新型涉及氢气纯化技术领域，且公开了一种超纯氢气纯化自动装置，包括主体机构、辅助机构和纯化机构，所述辅助机构位于主体机构的外部，所述纯化机构位于主体机构的内部，所述主体机构包括设备外箱、连接凹槽和进气管，所述连接凹槽固定设置在设备外箱的前端，所述进气管固定安装在连接凹槽的前端，所述主体机构还包括移动组件、进气通道、出气管和出气通道，所述进气通道固定设置在进气管的内部，所述出气管固定安装在设备外箱的后端，所述出气通道固定设置在出气管的内部。该超纯氢气纯化自动装置，可使得工作人员可以通过万向轮的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220386072U
(45)授权公告日2024.01.26
(21)申请号202321927059.6B01D53/04(2006.01)
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