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- 2024-01-29 发布于河北
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ＤｅｓｉｇｎａｎｄＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅＳｔｕｄｙｏｆＢｉｏｎｉｃＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ
ＦｌｅｘｉｂｌｅＣａｐａｃｉｔａｎｃｅＳｅｎｓｏｒ∗
Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ｔｈｅｆｌｅｘｉｂｌｅｐｒｅｓｓｕｒｅｓｅｎｓｏｒｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄａｎｄｓｔｕｄｉｅｄ.Ｇｅｎｅｒａｌｌｙꎬｔｈｅｓａｎｄｗｉｃｈｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓａｄｏｐｔｅｄ.Ｔｈｅｄｅｓｉｇｎｍｅｔｈｏｄｏｆｃｏｍ￣
ｐｏｕｎｄｅｙｅｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓａｄｏｐｔｅｄｆｏｒｔｈｅｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃｌａｙｅｒꎬａｎｄａｌａｙｅｒｏｆｍｅｔａｌｓｉｌｖｅｒｉｓｓｐｕｔｔｅｒｅｄｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｔｈｅｍｏｄｉｆｉｅｄＰＤＭＳ
ｆｏｒｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｌａｙｅｒ.Ｔｈｅｐｒｅｐａｒｅｄｔｈｒｅｅ￣ｌａｙｅｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓｂｏｎｄｅｄｔｏｆｏｒｍａｓｅｎｓｏｒｗｉｔｈｈｉｇｈｒｅｓｐｏｎｓｅｓｐｅｅｄａｎｄｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ.Ｔｈｅｔｅｓｔｒｅ￣
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