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基于刮涂微结构的柔性电容式触觉传感器特性研究

摘要：性能优异、持久耐用、制备效率高且成本低的柔性触觉传感器是智能电子皮肤、人机交互、医疗保

健的迫切需求。大多数微结构电容式触觉传感器需要洁净室微制造，增加了制作过程的复杂性及制作成

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本。本文介绍了一种新型且简易有效的方法，通过简单的工具在聚偏氟乙烯六氟丙烯共聚物（ＰＶＤＦ

ＨＦＰ）离子凝胶膜表面大面积制作不同尺寸的微结构，并对其传感特性进行了测试和比较。实验表明：传

感器在的压力范围内具有灵敏度高（－１）、检测限低（）、响应速度快（）等综合性

１．２ｋＰａ４６．８ｋＰａ１６Ｐａ２０ｍｓ

优势；经过６０００次高压力循环加载后，不偏离初始性能，表现出极强的鲁棒性以及实用性。本文提出的方

法可以显著提高传感器的制备效率和整体性能，同时降低制备过程的