新 SEMI 标准经批准用于不锈钢焊接应用;.pdfVIP

新SEMI标准经批准用于不锈钢焊接应用；

基于整个行业共识的焊接最佳做法

SunnivaCollins,Ph.D.,世伟洛克公司

KevinNguyen,SEMI

SEMI国际标准项目（由SEMI提供的主要服务）为制订在时间上及技术上都很精确的规格以及对行业具

有重要意义的其它标准提供了框架。在过去的数年中，对于用于气体和液体分配元件和系统的不锈钢和其

它耐腐蚀合金材料，与其成分、表面精度和质量、耐腐蚀性和焊接方法有关的标准进行了无数次的更改。

在以下标准中，每个标准都经过很重大的更改，或者制订了新标准以代替旧标准：

•SEMIF20-0704标准。316L不锈钢棒材、锻件、挤压型材、钢板以及管材的规格，适用于在一

般性用途、高纯度和超高纯度半导体生产应用中使用的元件。与冶金洁净度要求和316L成分有关。

•SEMIF19-0304标准。有关不锈钢元件与介质接触表面的表面状况的规格。涵盖了表面质量及表

面质量的测试，其中包括了表面的形态（物理）和化学质量。

•SEMIF77-0703标准。用于腐蚀性气体系统的合金表面电化学临界点蚀温度测试的测试方法。提

供了关于与介质接触表面相关耐点蚀性的全新测试方法。

•SEMIF78-0304标准。半导体生产应用中液体分配系统的钨级电弧焊接（GTA）方法。提供了不

锈钢和其它耐腐蚀金属及合金的钨级电弧焊接（GTA）工序。

•SEMIF81-1103标准。半导体生产应用中液体分配系统的钨级电弧焊接（GTA）的目视检查和验

收规格。提供了不锈钢和其它耐腐蚀金属及合金的钨级电弧焊接（GTA）的目视检查和验收标准。

本文将着重介绍以上标准中的三个；包括焊接的最佳方法及测试程序（SEMIF78和F81)；以及SEMI

F20，因为其包含了实现成功焊接所需的有关材料成份要求的基本信息。SEMIF78和F81代替SEMI

F3，后者的起草比较仓促，仅包含有焊接最佳方法和测试方面的最简略说明和指导原则。

之前，有不同的焊接方法出现在不同的行业标准和公司标准中。在同一家公司内发现有不同的焊接标准并

不少见，因为不同的工厂会规定各自的做法和标准。即使是在SEMI标准范围内，焊接工序也出现在了一

个以上的标准或文件中。SEMIF78和F81将所有焊接及测试工序整合在了一起，从而能适用于多种用

途，其中包括了在户外实验室、无尘室或元件生产过程中的应用。从事半导体行业焊接的任何人只需要参

考这两份文件就可以进行操作，不管他们是制造元件或组件，还是要在设备或设备连接上进行相关操作。

SEMIF78和F81是长期协同工作的成果，在此过程中，专门用一段时间比较和调查了来自众多公司的焊

接工序及测试文件。这些书面程序中的精华部分在经过GTA焊接任务组（WeldingTaskForce）讨论和

评估后，成为了SEMI标准。SEMIF78和F81的制订使这一行业的操作规范更加清楚明确。虽然所有

SEMI标准都是由相关组织自愿发起制订的，但这些焊接方法代表了整个行业范围内对确定合格焊接特性

以及实现稳定、最佳焊接所必需工序的共识，从而能保持纯度并达到足够的焊接完整性和强度。

修订后的材料标准

已通过审批的F20修订本规定了冶金洁净度要求和316L不锈钢的材料成份，适用于一般用途元件、高纯

度以及超高纯度化学（气体或液体）分配系统的生产。该标准根据用途，规定了材料的三个等级。一般用

途等级材料拥有符合ASTMA269和ASTMA632标准的成份，含硫量除外，最大含硫量要限制到

0.012%。对于高纯度和超高纯度等级的其它成份要求列在表1中。SEMIF20包含有两个重要的附录，其

中阐述了微量及残余元素（即硫和铜）对可焊性的固有影响。

表1高纯度成份要求316L

元素范围－重量%

碳最大0.030

硫最大0.010

锰最大1.5