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一种用于半导体芯片产品的激光雕刻装置及控制方法.pdfVIP

一种用于半导体芯片产品的激光雕刻装置及控制方法.pdf

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    本发明涉及一种用于半导体芯片产品的激光雕刻装置及控制方法，属于激光雕刻技术领域，本发明通过基于定位信息获取半导体芯片产品的待雕刻区域，最后通过对半导体芯片产品的雕刻区域进行监测，获取异常的雕刻区域，并根据异常的雕刻区域生成相关的控制参数。本发明通过融合奇异值分解算法，从而来对多方向的图像数据进行特征重建，从而降低由于摄像结构摄像时所带来的冗余范围，提高对待雕刻的半导体产品的定位，从而提高激光雕刻装置的加工控制精度。本发明融合了循环空间注意力机制、深度神经网络以及特征金字塔网络，能够抑制多尺度的特

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117476509A

    (43)申请公布日2024.01.30

    (21)申请号202311818715.3G06T17/00(2006.01)

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