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一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法.pdfVIP

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  • 2024-01-31 发布于四川
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一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法.pdf

    本发明公开了一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理方法，涉及外延生长尾气处理技术领域，其技术方案要点包括以下步骤：S1：启动风机，风机将进入处理装置中矩形筒内的外延生长尾气吹至处理筒内；S2：开启输送泵，输送泵将蓄水箱内的水输送至喷头内，再经喷头呈雾状喷出，降低外延生长的尾气中所携带的热量，同时便于外延生长的尾气中颗粒物的沉降，沉降后的外延生长的尾气颗粒与水分停留在吸水海绵上；效果是通过挡板与挤压板将收集外延生长的尾气颗粒挤压成块状，减少外延生长的尾气颗粒中的水分，降低了所收集的外延生长尾气颗粒的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117463089A

    (43)申请公布日2024.01.30

    (21)申请号202311441174.7C02F103/18(2006.01)

    (22)申请日2023.11

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