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本发明公开了基于连续激光的功能微电子器件激光增材制造方法及系统，制造方法包括以下两部分：（1）金属导线打印：首先将金属油墨滴加于盖玻片表面，并将其固定于三维纳米定位台和二维自动载物台构成的加工平台；通过声光调制器和射频驱动器调控激光功率，经过水浸显微镜物镜聚焦于墨水中，实现金属导线的打印。（2）半导体打印：将配置好的半导体油墨滴加在金属导线上，把激光焦点定位在金属导线的正下方，借助金属结构单光子吸收产生的局部热量促进半导体油墨的反应。本加工系统将连续激光系统、三维平台系统、光路系统有机集成于一体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117464183A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311572924.4B33Y10/00(2015.01)
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