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本发明公开膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法,包括以下步骤:S1,加工圆盘,在圆盘一侧周向固定若干支撑柱,在圆盘上开设若干通孔,对圆盘进行装夹定位;S2,在通孔内均插入准直套管,并对准直套管粘接固定;S3,对固定有准直套管的圆盘置超声清洗,之后取出烘干;S4,加工膜片,对膜片其中一个面打磨抛光,抛光后的膜片光胶在支撑柱,且抛光面与准直套管接触,之后对膜片另一个面进行打磨形成磨砂面;S5,设置激光焊接圆形路径的半径,依次将所有的准直套管分别与膜片焊接;S6,在准直套管内壁分别进行固
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117470288A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311447172.9
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人广东海洋大学
地址524088
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