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2024-01-31 发布于四川
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本实用新型涉及一种等离子去胶机的加热机构，包括安装架，所述安装架的内侧插接有加热盘，所述加热盘的上侧设置有晶圆，所述安装架和加热盘之间设置有安装组件，所述加热盘和晶圆之间设置有夹持组件，所述安装组件包括套筒，所述套筒的内部固定连接有连接板，所述连接板靠近安装架的一侧固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧远离连接板的一端固定连接有限位杆，所述限位杆延伸至安装架的内侧，所述限位杆的外壁上固定连接有第一调节块，所述夹持组件包括第二弹簧，所述第二弹簧远离连接板的一端固定连接有活动杆。该等离子去胶机的加热机构，

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220420561U

(45)授权公告日2024.01.30

(21)申请号202321798634.7

(22)申请日2023.07.10

(73)专利权人上海序伦机电设备有限公司

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