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本实用新型公开了一种单晶炉热场保护及降氧装置，包括上盖和环形盖，所述上盖的横向宽度大于所述环形盖的横向宽度，在所述上盖和环形盖之间设置支撑柱，相邻所述支撑柱形成通道用于排放气体。所述上盖包括主盖和副盖，所述主盖为圆饼状，所述副盖在所述主盖的外周面进行一体式连接。所述副盖包括与所述主盖一体连接的凸起，所述凸起的高度大于所述主盖的高度。通过设置上盖、环形盖和支撑柱，避免硅液流入到炉底内，防止硅液流下造成炉底加热器打火损失，对热场起到保护作用，同时使可通气流面积变大，可提高带走炉内的杂质效率，例如带走
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220413606U
(45)授权公告日2024.01.30
(21)申请号202321872211.5
(22)申请日2023.07.17
(73)专利权人乐山市京运通新材料科技有限公
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