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提供一种蓝宝石晶片退火前清洗方法，所述蓝宝石晶片退火前清洗方法至少适用于8英寸的蓝宝石晶片表面碳化硼研磨后且在退火前的清洗，所述蓝宝石晶片退火前清洗方法包括步骤：S1，采用碱性金属清洗剂配制成的水溶液超声清洗；S2，采用去离子水超声清洗；S3，将蓝宝石晶片置于纯水中双面刷洗，刷洗过程中保持冲水；S4，采用酸溶液超声清洗；S5，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S6，采用碱溶液超声清洗；S7，采用去离子水双面冲洗蓝宝石晶片，同时转动蓝宝石晶片；S8，采用去离子水超声清洗；S9，采
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117463691A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311715352.0B08B1/32(2024.01)
(22)申请日2023.12.1
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