面形的三维干涉测量及评价　.pptVIP

数字干涉测量方法

及面形的三维干涉测量及评价;二、实验原理

随着电子技术与计算机技术的发展，并与传统的干涉检测方法结合，产生了一种新的位相检测技术??数字干涉技术，这是一种位相的实时检测技术。这种方法不仅能实现干涉条纹的实时提取，而且可以利用波面数据的存储功能消除干涉仪系统误差，消除或降低大气扰动及随机噪声，使干涉技术实现?/100的精度，这是目前干涉仪精度最高的近代方法。;参考镜2由压电陶瓷PZT驱动，产生位移。此位移的频率与移动量由计算机控制。设参考镜的瞬时位移为li，被测表面的形貌（面形）为w(x,y)，则参考光路和测试光路可分别用下式表示：;从而求得被测波面，由下式给出：;采用数字干涉测量原理进行面形的三维测量，与前面所不同的是测量中采用了扫描技术，因而可以实现面形的三维测量。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如下图所示。;三、实验光路

同实验——精密位移量的激光干涉测量方法及实验(加PZT);五、思考题

1.采用下列方法可以提高测量精度吗?

a.增加一个周期内的台阶数(n)；b.增加扫描的周期数(p)

2.测量精度一般由测量正确性和测量重复性组成，试分析增加n或p的作用以及利弊关系

3.试分析决定数字干涉仪测量准确性的因素和提高测量准确性的主要方法

4.你知道测量表