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环形光源在Fizeau干涉系统中的设计与研究的综述报告

Fizeau干涉系统被广泛应用于各种高精度测量领域,例如表面粗糙度、形状测量等。在设计和研究Fizeau干涉系统中,环形光源是一种常用的光源类型。本文将就环形光源在Fizeau干涉系统中的设计与研究进行综述。

一、Fizeau干涉系统基本原理

在了解环形光源在Fizeau干涉系统中的应用前,首先需要了解其基本原理。

Fizeau干涉系统是一种白光干涉系统。它的基本构成部分包含分束器、反射镜、两个反射面和目标表面。光从分束器中出来后会经过反射镜和反射面,最终照射在目标表面上。部分光线被目标表面反射并经过另一个反射面反射回来,再次经过反射镜和分束器。

这样一来,经过反射的光线和未经过反射的光线就会重叠在一起形成干涉图像。通过分析干涉图像中的干涉条纹,可以计算出目标表面的高度差和表面形状。

二、环形光源设计

在Fizeau干涉系统中使用环形光源有以下优势:

1.旋转对称性:环形光源具有旋转对称性,在实际应用中可以大量减少系统误差。

2.直接产生过程:从理论上讲,环形光源可以通过投影方式直接产生干涉条纹,省去了其他光源需要进行相位差的调整。

针对上述优点,环形光源的设计需要满足以下要求:

1.能够产生基于Fizeau干涉原理的光源。

2.并产生良好的干涉图案。

3.能够直接与光学元件集成,提高系统应用效率。

在环形光源的设计中,当前主要考虑以下三种光源:

1.LED环形光源:由于高亮度、高可靠性和廉价,近年来被广泛使用。

2.氦氖激光环形光源:由于光学特性优良,多被用于精密测量领域。

3.光纤环形光源:由于光纤光源具有高纯度、可调谐性和较小的尺寸等优点,这种光源被日益重视。

在环形光源的设计中,还需要考虑以下因素:

1.平坦均匀的光源:为了使Fizeau干涉图案清晰,需要选择均匀且平坦的光源。

2.稳定的光源:光源的波长和强度越稳定,Fizeau干涉系统的精度就越高。

3.适当的光束直径:光束直径要适当,这将对系统的分辨率和测量范围产生影响。

三、环形光源的应用和研究

1.非球面镜加工:环形光源可以被用于非球面镜的加工,用于测量成品的反射特性。

2.汽车轮毂测量:在汽车轮毂的生产中,可以使用Fizeau干涉系统来测量轮毂的高度差和大小。

3.表面形貌测试:环形光源可以被用于表面形貌测试,在血统学和生化研究中有着广泛的应用。

4.量子力学:环形光源在物理学领域中也有应用。例如,在量子力学中,环形光源可被用于生成非经典态。

总之,环形光源通过直接产生Fizeau干涉图案,从而简化了Fizeau干涉系统的设计,提高了系统测量精度。由于其在高精度制造与测量中的应用十分广泛,因此,对于环形光源的研究发展具有非常积极的意义。

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