提高版图边缘格点的预测准确率的方法.pdfVIP

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  • 2024-02-03 发布于四川
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提高版图边缘格点的预测准确率的方法.pdf

本发明提供了一种提高版图边缘格点的预测准确率的方法,包括:输入版图;从所述版图的第一角开始,以固定的步进尺寸将所述版图依次划分为多个格点,直到所述版图边缘格点小于或等于非边缘格点;如果版图边缘格点小于非边缘格点,则提取版图上从所述第一角开始到边缘格点与非边缘格点的尺寸之差的范围内的几何信息,并将提取的几何信息补充到所述边缘格点内。可以减少版图在边缘格点处的热点误判的情况,提高版图在边缘格点预测的准确率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN112102346A

(43)申请公布日2020.12.18

(21)申请号202011024116.0

(22)申请日2020.09.25

(71)申请人上海华力微电子有限公司

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