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JJG371—2005
量块光波干涉仪检定规程
1范围
本规程适用于测量范围从0.5mm～1000mm的激光量块干涉仪及用于高等级量块测量的量块光波干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。
2引用文献
本规程引用下列文献：
JJF1001—1998通用计量术语及定义
JJF1059—1999测量不确定度评定与表示
JJF1094—2002测量仪器特性评定技术规范
GB/T6093—2001几何量技术规范(GPS)长度标准量块
JJG28—2000平晶检定规程
JJG353—1994兰姆凹陷稳频He-Ne激光器检定规程
JJG875—1994数字压力计检定规程
JJG993—2004电动通风干湿表检定规程
JJG364—1994表面温度计检定规程
JJG635—1999一氧化碳、二氧化碳红外线气体分析器检定规程
使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3概述
量块光波干涉仪是指以激光或其他光波波长为标准，用光波干涉原理测量量块长度的仪器。仪器按测量方法分为小数重合法和脉冲计数法，按测量范围分为(0.5～100)mm和(100～1000)mm。常见的有激光量块干涉仪、柯氏光波干涉仪、海尔格一瓦兹光波干涉仪、双参考镜一米光波干涉仪、接触式激光量块干涉仪等。
4计量性能要求
4.1光波波长的特性
量块光波干涉仪所用光波真空波长的相对不确定度应满足表1的要求。使用多个波长时，至少有一个波长的相对不确定度应满足表1的要求。
4.2量块温度测量仪器的示值误差
量块温度测量仪器的示值误差应满足表1的要求。
4.3空气折射率测量仪器的示值误差
空气折射率测量仪器的示值误差应满足表1的要求。
4.4平晶平面度
采用研合方式测量时使用的平晶，其工作面的平面度不大于0.03μm。
JJG371—2005
2
4.5测量重复性
量块长度的测量重复性应满足表1的要求。
4.6仪器示值误差
仪器的示值误差应满足表1的要求。
表1计量性能
项目
要求
光波真空波长的相对不确定度U,k=3
1×10-1
量块温度测量仪器的示值最大允许误差
±0.02℃
空气折射率
空气折射率的相对不确定度U,k=3
≤1x10-7
大气压力测量仪示值最大允许误差
±40Pa
空气温度测量仪示值最大允许误差
±0.02℃
湿度测量仪示值最大允许误差
±80Pa
CO?含量测量仪*示值最大允许误差
±1×10~4
仪器的测量重复性
(0.5～100)mm
≤0.017μm
(100～1000)mm
≤0.030μm
仪器示值最大允许误差
±0.776×(0.05μm+5×10~?l”)
*:CO?含量的测量是否采用可视具体情况，根据测量不确定度要求确定，下同。#*:l表示量块的长度。
5通用技术要求
5.1外观
仪器的主体完整，配套设备齐全。仪器的输出信号(干涉条纹图像或李沙育图形等)满足测量要求。
5.2各部分相互作用
仪器的各个运动部件能正常运行，各个调整部件能灵活调节，有效可靠。量块温度测量仪的感温元件应能与量块有良好的导热。
6计量器具控制
计量器具控制包括：首次检定、后续检定和使用中的检验。
6.1检定条件
6.1.1实验室的温度：(20±0.2)℃,温度变化不超过0.1℃/h。
6.1.2实验室的湿度：40%RH～60%RH。
6.1.3实验室内应清洁，无影响测量的振动、气流等。
6.2检定项目
JJG371—2005
3
量块光波干涉仪的检定项目和主要检定设备见表2。
表2检定项目和主要检定设备
序号
检定项目
主要检定设备
首次
检定
后续
检定
使用中的检验
1
外观
+
十
十
2
各部分相互作用
+
+
+
3
光波波长
见JJG353—1994兰姆凹陷稳频He-Ne激光管检定规程或附录A
+
+
4
量块温度测量仪器的示值误差
标准铂电阻温度计、精密测温电桥
+
+
5
A
空气折射率干涉仪的示值误差
空气折射率测量仪器，测量不确定度U≤3×10-1
十
+
B
气压测量仪器的示值误差
参考.JJG875—1994数字压力计检定规程
+
+
C
空气温度测量仪器的示值误差
标准铂电阻温度计，精密测温电桥
+
+
D
湿度测量仪器的示值
误差
参考JJG993—2004电动通风干湿表检定规程
+
+
E
CO?含量*测量仪器的示值误差
参考JJG635—1999一氧化碳、二氧化碳红外线气体分析器检定规程
+
+
6
平晶
见JJG28—2000平晶检定规程
+
+
7
测量重复性
2等量块
+
+
+
8
示值
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