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微机电系统工程专业毕业设计论文：基于MEMS动态压力传感器的火箭发动机监测系统设计与验证

基于MEMS动态压力传感器的火箭发动机监测系统设计与验证

摘要：

本论文旨在设计和验证一种基于微机电系统（MEMS）动态压力传感器的火箭发动机监测系统。传统的火箭发动机监测系统通常使用大型传感器和复杂的电子设备，成本高昂且可靠性有限。然而，MEMS技术的发展为火箭发动机监测系统的设计提供了新的解决方案。本研究通过设计和验证基于MEMS动态压力传感器的火箭发动机监测系统，以提高可靠性和成本效益。

一、引言

火箭发动机作为航天领域最核心的动力装置之一，其安全运行对于整个航天任务的成功至关重要。监测与控制火箭发动机的各项参数是确保其安全运行的关键。而动态压力是火箭发动机运行过程中最重要的参数之一。传统的压力传感器存在体积大、质量重、精度低和成本高的问题。因此，采用MEMS动态压力传感器作为监测火箭发动机动态压力的主要方案具有重要的现实意义。

二、MEMS动态压力传感器的设计原理

MEMS动态压力传感器是一种基于微机电系统技术的传感器，能够实时监测物体的压力变化。其设计原理主要包括结构设计和工作原理两个方面。结构设计包括传感器的气室结构和膜片结构，通过使用微纳制造技术制造出微小的气室和灵敏的膜片结构，以实现对压力的敏感度。传感器的工作原理基于压阻效应，当外界压力作用于膜片上时，会改变膜片的形变导致电阻