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2023年大直径硅单晶及新型半导体材料项目规划设计纲要.docx

2023年大直径硅单晶及新型半导体材料项目规划设计纲要.docx

    大直径硅单晶及新型半导体材料项目规划设计纲要

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    大直径硅单晶及新型半导体材料项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z14366前言 3

    6617一、大直径硅单晶及新型半导体材料项目绩效评估 3

    22456(一)、绩效评估指标 3

    27607(二)、绩效评估方法 4

    8563(三)、绩效评估周期 5

    22821二、大直径硅单晶及新型半导体材料项目概论 7

    23854(一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目概况 7

    29093(二)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目目标 9

    11453(三)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目提出

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