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压电基板的制造装置和压电基板的制造方法.pdfVIP

压电基板的制造装置和压电基板的制造方法.pdf

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    压电基板的制造装置具备：第1电极(10)；第2电极(20)，其隔着压电基板而与第1电极(10)对置；罩(50)，其将第2电极(20)包围成使第2电极(20)的顶端暴露；供给部(40)，其对罩(50)的内部空间(51)供给处理气体；加工部(65)，其在第1电极(10)与第2电极(20)之间施加电压，使处理气体等离子体化而在压电基板进行表面处理；检测器(80)，其设置于罩(50)的外侧，且与第2电极(20)的相对位置受到固定；测定部(63)，其通过检测器(80)测定压电基板的厚度；驱动部(30)，其

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111034038A

    (43)申请公布日

    2020.04.17

    (21)申请号20188

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