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本发明提供了基于蓝宝石光纤微泡结构的压力传感器及制备和使用方法，首先研磨蓝宝石光纤端面使其具有光学级别粗糙度，然后使用飞秒激光水击穿法刻蚀光纤端面使其构成中空腔体结构，最后采用电弧放电技术对蓝宝石光纤端面中空腔体结构进行多次放电，使其向内塌陷形成封闭的用于感知压力的微泡结构腔，所述微泡腔为法布里‑珀罗干涉腔。当其受到的压力改变时气泡壁面向腔内压缩，可以通过测量腔长改变量即可计算出环境的压力值。本发明所提供的技术方案制作出一种基于蓝宝石光纤微泡结构的耐高温压力传感器，所采用的蓝宝石光纤，具有极高的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117506334A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311462716.9
(22)申请日2023.11.06
(71)申请人厦门大学
地址361000
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