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基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测.pdfVIP

基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测.pdf

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    本发明提出的基于可调谐波长激光源诱发二次谐波的缺陷检测方案，解决的问题是因不同禁带宽度的材料的检测需求不同而导致的检测范围的局限性问题及实现该方案的障碍。本发明，首先有适用范围的提升。双光源系统不仅能对材料的能带结构做精确测量，而且能够针对性调节激发光的波长，使得本发明适用的材料范围更大。其次，测量参数的增多。双光源结构，当激发光关闭后，依然能够使用探测光对电子的复合进行检测，能够观测到其复合的过程，从而可对载流子寿命以及扩散长度做分析。最后，通过确保探测光斑所探测到的区域的能量分布是均匀一致的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117538341A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202310985909.6

    (22)申请日2023.08.07

    (71)申请人上海微崇半导体设备有限公司

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