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本公开的实施例涉及具有有源偏移补偿的微机电传感器装置设备。一种具有感测结构的微机电传感器设备，具有：衬底；惯性质量件，被悬置在衬底之上，并且通过弹性耦合元件被弹性耦合到转子锚固结构，以执行由于待感测量而引起的至少一次惯性移动；第一感测电极，被整体地耦合到惯性质量件，以能够由于惯性移动而移动；以及第二感测电极，相对于待感测量而被固定，面向第一感测电极并且电容耦合到第一感测电极以形成具有指示待感测量的值的感测电容。第二感测电极以悬置方式被布置在衬底之上；以及补偿结构，被配置为将第二感测电极相对于第一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538564A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202310986140.X
(22)申请日2023.08.07
(30)优先权数据
102022000016986
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