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- 2024-02-10 发布于四川
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本发明公开了一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，涉及半导体加工领域，旨在解决氮化铝覆铝陶瓷基板耐热性能不够的问题，其技术方案要点是：一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，包括以下步骤：1)表面溅射镀钛：取氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面清洗，然后镀钛，得到纳米级钛层的氮化铝覆铝陶瓷基板，镀钛层厚度为50‑100nm；2)激光强化：取步骤1中具有纳米级钛层氮化铝覆铝陶瓷基板进行激光强化处理；3)表面处理：取步骤2中处理后的氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面处理。本发明的一种提高氮化铝覆铝陶
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115595535A
(43)申请公布日2023.01.13
(21)申请号202211602440.5
(22)申请日2022.12.14
(71)申请人江苏富乐华半导体科技股份有限公
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