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显微干涉术在测量微小表面几何参数中的关键技术研究的任务书
任务名称：显微干涉术在测量微小表面几何参数中的关键技术研究
任务背景：
随着微电子技术、纳米技术、光学器件等领域的发展，对于微小表面几何参数的测量需求越来越迫切。显微干涉术是一种非接触式、高精度、高分辨率的测量技术，特别适合于对微小表面几何参数的测量。因此，研究显微干涉术在微小表面几何参数测量中的关键技术，具有重要的科学意义和应用前景。
任务目的：
本任务的目的是，通过对显微干涉术在测量微小表面几何参数中关键技术的研究，探讨如何提高显微干涉术的测量精度、解决测量中存在的影响因素，并开发出一套完整的显微干涉术测量系统，为微小表面几何参数的测量提供有效的解决方案。
任务内容：
（1）调研国内外显微干涉术在微小表面几何参数测量领域的研究现状和发展趋势，分析其存在的技术瓶颈和不足。
（2）研究显微干涉术在测量微小表面几何参数中的关键技术，如消除噪声、提高分辨率、减小误差等。
（3）确定显微干涉术测量系统所需要的硬件和软件设备，并进行开发和改进。
（4）利用已开发好的测量系统，对不同材料的微小表面进行测量，分析其测量精度和应用性能，以验证所研究技术的有效性和实用性。
（5）总结本研究的成果，撰写有关论文和科技报告。
任务进度安排：
本任务的工作周期为24个月。
第1-3个月：调研国内外显微干涉术在微小表面几何参数测量领域的研究现状和发展趋势。
第4-9个月：研究显微干涉术在测量微小表面几何参数中的关键技术。
第10-15个月：确定显微干涉术测量系统所需要的硬件和软件设备，并进行开发和改进。
第16-21个月：利用已开发好的测量系统，对不同材料的微小表面进行测量，并分析其测量精度和应用性能。
第22-24个月：总结本研究的成果，撰写有关论文和科技报告。
任务执行单位：
本任务由相关领域的科研机构或高校承担。任务执行单位需具备显微干涉术的相关研究经验和实验室条件，并组建有关的研究团队，确保任务能顺利开展和完成。
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