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本实用新型公开一种掩膜版机台以及掩膜版转移系统，属于半导体技术领域。该掩膜版机台包括：放置平台、版盒以及检测组件；放置平台顶部设置放置区；版盒，设于放置区；检测组件包括设于放置平台且位于版盒外侧的发射元件以及接收元件，发射元件的发射部与接收元件的接收部之间的连线为第一线，第一线经过版盒的上方。该掩膜版转移系统包括掩膜版机台、取版机构以及传送盒。该掩膜版机台，在版盒旁侧设置了发射元件与接收元件以用于检测掩膜版状态，可以及时发现掩膜版倾斜。该掩膜版机台以及掩膜版转移系统，可提高取版机构取掩膜版时的安
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220491179U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202322130281.X
(22)申请日2023.08.08
(73)专利权人粤芯半导体技术股份有限公司
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