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一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统.pdfVIP

一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统.pdf

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    本申请提供了一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统，涉及多晶硅生产设备领域，多晶硅尾气热量的回收装置包括换热件、压缩件与冷凝组件，所述换热件连接氢气输出端与氢气还原端，所述压缩件连接尾气输出端与所述换热件，以将所述尾气输出端输出的尾气加热压缩后输送至所述换热件中进行换热冷却，所述冷凝组件包括：第一冷凝件与第二冷凝件，所述第一冷凝件与所述换热件连接，以将所述换热件中输出的尾气输送至所述第一冷凝件中进行换热冷却，所述第二冷凝件与所述第一冷凝件连接，以将所述第一冷凝件中输出的尾气输送至所述第二冷凝件中

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220489764U

    (45)授权公告日2024.02.13

    (21)申请号202322146361.4

    (22)申请日2023.08.09

    (73)专利权人甘肃瓜州宝丰硅

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