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本发明涉及玻璃制造技术领域，尤其涉及一种基于高纯低羟基石英玻璃的高稳定性制备系统，包括：进料模块，用以对反应原料进料；反应模块，包括沉积炉、灯炬以及基础杆；检测模块，包括粗糙度传感器，Zygo干涉仪、透明度检测仪以及超声检测器；控制模块，用以根据玻璃块体的波前误差确定灯炬的运行状态，或，根据玻璃块体的波前误差和所述玻璃块体的透明度确定给料器的第一放料策略，以及，根据玻璃块体的透明度和玻璃块体径向的平均气泡长度确定沉积炉的温度模式，以及，基于确定给料器的第一放料策略后沉积炉的内表面粗糙度，重新确定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117550787A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202410040819.4
(22)申请日2024.01.11
(71)申请人内蒙古金沙布地恒通光电科技有限
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