第二节表面粗糙度的测量方法课件.ppt

§4—2

表面粗糙度的测量方法;任务：表面粗糙度的测量;—、表面粗糙度的测量方法概述

表面粗糙度反映的是机械零件表面的微观几何形状误差，对表面粗糙度的测量方法很多，主要方法见下表。

;;对表面粗糙度的评价主要分为定性和定量两种评定方法。

定性评定是将待测表面和已知表面光洁度级别的标准样板相比较，通过目估或借助于显微镜以判别其级别。

定量评定则是通过一定的测量方法和相应的仪器，测出待测表面的不平度数值。

实际工作中，对加工表面粗糙度的评定可归纳为如下四种方式。

;１．与表面粗糙度标准样板比较的方法

表面粗糙度样板：按各种加工方法做成的不同几何形状的

一套标准表面样块，用来与被测的表面

相比较。;4．间接测量方法

这类方法是利用被测表面的某种特性来间接评定表

面粗糙度的数值。例如：

气动法：是利用流经测量头与被测表面间气体流量的大小或其所引起的压力变化来评定表面粗糙度。

电容法：是利用测量头与被测表面间形成的电容量大小来评定表面粗糙度。不能直接测出表面参数Ra或Rz，而需进行比对定标，且要配备一些和被测表面几何形状相适应的测量头。

其他方法：激光散射法、激光散班法、激光全息法等。;二、光切法测量表面粗糙度;所谓光切法就是用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜角照射到被测表面上，光束在被测表面上发生反射，将表面微观不平度用显微镜放大成象进行观测的方法。图4-5是光切法的测量原理图。;图4-6光切显微镜光路;由于物镜分辨率及景深的限制，光切法测量范围一般为：Rz=(80～0.8)?m（旧国标?3～?9）。

式h=N/(Vcos45°)中有无理数，计算、使用不便，在仪器设计时采用机械方法加以有理化，其方法如图4-7所示。此时：

h=a/2V

式中:

a—用仪器测微目镜瞄准峰谷象高度N（图4-7

中十字线位置I与II）时两次读数差值；

h—表面粗糙度的某一峰谷高度；

V—所选用物镜的放大倍数。双管显微镜;双管显微镜视场图;双管显微??;光切显微镜读数;（2）定度：

在光切显微镜上，把确定测微目镜的鼓轮上每小格所对应的被测峰谷高度值的过程叫作“定度”。(h=a/2V)

定度首先是求物镜的放大倍率。求物镜放大倍率的方法是用一个标准刻线尺（通常为专用附件，刻度间隔为0.01mm，共101条刻线）来测定各个物镜的实际放大率。如图4-8所示，物镜放大率为：

V=;3．测量方法

测量前，选择相应的物镜（表4-2）并已知定度值C。然后调节显微镜使视场呈现清晰的狭缝象及表面象，且至狭缝象的一个边缘最清晰为止。

（1）测量Rz值

其测量方法应符合定义。Rz值可按下式计算：

Rz=C;（4）测量平均间距Sm

Sm=2C;4．仪器的测量误差和示值相对误差的检定

（1）测量误差的主要因素有：瞄准误差、测微目镜制造误差、估读误差、定度用标准尺误差、被测工件定位误差、仪器使用调整误差等。

（2）仪器示值误差的检定：根据国家计量检定规程，仅检定其示值相对误差是否在要求的范围内，测量范围不同（既物镜不同），要求不同。

（3）仪器示值相对误差的检定是用受检定的光切显微镜去实测已知其刻线深度的单刻线样板（也可用阶梯量块代替），则该仪器示值的相对误差为:

;三、干涉显微镜测量表面粗糙度

干涉显微镜测量原理：

联合运用干涉原理和显微放大原理。对测量面垂直高度方向的微观不平度通过光波干涉法进行放大测量，对表面粗糙度的水平参数通过显微放大系统测量。

干涉显微镜测量范围：Rz=0.8?m～0.025?m。

6JA干涉显微镜测量光路见图4-12。;干涉显微镜;;1986年WYKO公司研制成功的TOPO非接触微表面测量系统。

测量精度达

自动完成测量。

;带有旋转检偏器测相的改进的微分干涉显微镜（清华）

垂直分辨率优于1nm，水平分辨力0.4μm;图4-12干涉显微镜光路;;;四、触针法测量表面粗糙度

1．触针法的测量原理

触针法又称针描法，它是一种接触式测量方法，是利用仪器的测针与被测表面相接触，并使测针沿其表面轻轻划过以测量表面粗糙度的一种测量法。

将一个很尖的触针（半径可以做到微米量级的金钢石针尖）垂直安置在被测表面上作横向移动，由于工作表面粗糙不平，因而触针将随