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硕士论文白光干涉测量光学薄膜厚度

摘要

与激光光源相比，以白光为代表的宽光谱光源由于具有短相干长度的特点使得两

光束只有在光程差极小的情况下才能发生干涉，因此不会产生干扰条纹。同时，由于

白光干涉产生的干涉条纹具有明显的零光程差位置，避免了干涉级次不确定的问题。

本文以白光干涉原理为理论基础，对单层透明薄膜厚度测量尤其对厚度小于光源相干

长度的薄膜厚度测量进行了研究。

首先，从白光干涉测量薄膜厚度的原理出发，分别详细阐述了白光干涉原理和薄

膜测厚原理。接着在金相显微镜的基础上构建了Mirau型垂直白光扫描系统作为实验

中测试薄膜厚度的仪器并利用白光干涉原理对PZT的位移量进行了标定。

其次，利用Matlab软件模拟了薄膜白光干涉的光强曲线，并在此基础上提出了

峰