超声加工技术的应用及发展趋势.pdfVIP

1序言

近年来，先进工程材料在航空航天、汽车、半导体、3C和医疗等制造业领域

中不断涌现，如钛合金、高温合金、工程陶瓷、陶瓷基复合材料以及蜂窝复合材

料等，这些材料具有优异的使用性能，然而机械加工性能很差，属于典型的难加

工材料。在使用传统的机械制造技术对这些材料进行精密加工时遇到了一定的瓶

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颈，一种新型的制造工艺技术——超声加工技术，即UltrasonicMachining（UM），

受到越来越多的关注并得到大量的应用。

超声加工技术是一种通过超声波振动能量实现难加工材料精密去除的工艺技

术，该技术是将超声波振动能量通过一系列结构的传播和变换聚焦在刀具的工作

区域，从而形成被切削材料的冲击去除效果，进而可以提高众多难加工材料的可

加工性能。该技术在加工过程中具有众多优点，如：降低切削力和减少切削热、

减小刀具磨损和崩边毛刺、优化切屑形态、提高表面质量、降低亚表面损伤以及

提高加工效率等（每个加工工艺具体的改善效果因超声刀具、材料、工艺等的不

同而存在一定的差别）。超声加工技术是一种基于功率超声技术发展起来的特种

加工技术，它本质上是一个物理去除过程，不涉及材料性质的改变。随着市场化

的需求越来越强烈，超声加工技术中商用标准化系统也成为了目前市场需求的重

点，相关的超声加工技术开始走出实验室，在众多典型难加工材料的精密加工中

得到应用，如：光学玻璃、蓝宝石、陶瓷、氧化铝陶瓷、钛合金、高温合金、碳

纤维复合材料以及铝基碳化硅复合材料等，其应用领域及典型案例如图1所示。

近几年，国内难加工材料的大量应用，带来了较多的超声加工技术应用需求，促

使了该技术的市场化，多家科研机构和制造企业纷纷开始进行超声加工技术的产

业化应用。

图1超声加工应用领域及典型案例

2超声加工技术发展现状

“工欲善其事，必先利其器”，超声加工技术是针对难加工材料精密加工的利

器。在大多数切削加工领域，超声加工更确切的名称应该为“超声辅助精密加工”，

即在传统切削加工技术上辅助超声振动，从而实现特殊的材料去除效果。但在某

些特殊情况下，超声振动也会成为主要的甚至唯一的切削动力，这类超声加工技

术可直接称之为超声加工，例如：在医疗领域常使用的超声手术刀，用于骨骼切

割；在航空蜂窝材料的零件加工过程中大量使用的超声匕首刀，可实现高效、绿

]

色加工。

早在20世纪20年代，美国、日本、德国以及苏联的科学家便开始振动加工

的基础研究，而早期研究主要集中在通过改善切削条件实现材料断屑等方面，主

要应用也是在超声车削领域，该阶段主要的特点是低频率振动加工，其频率和现

在的超声频率（15kHz以上）有着较大的差别。进入21世纪/后，机床制造商德

马吉森精机推出了商业化超声加工机床整机，成为了较早将超声加工技术进行商

业化的企业。

2000年前后，由于各式各样难加工材料层出不穷，因此国内各个高校、研究

院所掀起了研究超声加工技术的热潮，清华大学、上海交通大学、北京航空航天

大学、华中科技大学、天津大学、哈尔滨工业大学、南京航空航天大学、大连理

工大学以及河南理工大学等高校开展了大量的基础研究和应用开发，涉及超声加

工技术中的装备设计、控制技术、超声加工系统和超声工艺等各个方面。

超声加工技术经历了从起步到2000年左右的萌芽阶段，再经过近20余年的

快速发展阶段，近5年以来，难加工材料的快速大量应用加速了超声加工技术的

商用化发展。目前，国内外在超声加工装备、超声振动控制、工艺等方面的技术

逐步成熟，也推动了人们对超声加工技术的基本要求、工作机理、工艺特性以及

应用领域的深入理解。与此同时，开展超声加工技术研究的高校和研究院所越来

越多，涉及的超声加工应用领域也越来越广泛。

3超声加工技术基本原理

目前，国内外对于超声加工技术的理解仍在不断发展过程中，尚缺乏统一的

标准和规范。常规超声加工系统主要包含超声驱动控制器、超声发射器、换能器、

变幅杆、夹持结构和刀具等，如图2所示。本文将从超声加工系统的分类、典型

超声加工系统结构、超声驱动控制技术和超声工艺技术等方面介绍超声加工技术

的特点。

图2超声加工系统主要部件

3.1超声加工系统分类

按照超声振动形式可分为：一维超