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一种太赫兹近场系统激光光路的调整方法，属于太赫兹近场成像领域，主要解决光学显微镜不能清晰观察到探针悬臂激光光斑，激光光路调整复杂、缓慢、不准确性问题，采用调整激光器位置对发射的激光进行粗调、调整激光器位置对发射的激光进行精调以及利用光斑位置检测器对接收的激光进行调整的三步法，利用阴影放大投影法，可以直接有效观察判断激光光斑在探针悬臂的位置，快速调解激光光路。本调整方法具有快速、操作方便的特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117572028A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202410078588.6
(22)申请日2024.01.19
(71)申请人合肥综合性国家科学中心能源研究
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