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本申请公开了一种研磨头防碰撞结构，涉及半导体研磨技术领域。其包括驱动件、研磨头，驱动件用于驱动研磨头往复运动，研磨头通过中间组件连接有检测元件，中间组件用于带动检测元件与所述研磨头同步运动；检测元件的一侧间隔设有感应件，用于辅助所检测元件的工作，检测元件与驱动件电连接，检测元件用于辅助关停所述驱动件。通过中间组件使检测元件与研磨头同步运动，并在检测元件的运动方向上设置感应件，并使感应件与检测元件的工作端间存在预设距离，当检测元件检测到预设距离小于等于设定阈值时，此时检测元件切换为断开状态，以关停
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117564932A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311808695.1
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人吉姆西半导体科技（无锡）股份有限
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