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弹性波装置.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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弹性波装置.pdf

    本发明提供一种能够减小谐振点与反谐振点下的声速温度系数之差ΔTCV的绝对值的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电性基板(2)，包含声反射层(声反射膜(24))和设置在声反射层上的压电体层(6)；以及IDT电极(7)，设置在压电性基板(2)上，具有多个电极指(多个第1电极指(18)、第2电极指(19))。在将由IDT电极(7)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(6)的厚度为3λ以下。电极指包含至少一层电极层。基于电极层与Al的密度比而换算为电极层由Al构成的情况的电极层的厚度的总和为压电体

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117581478A

    (43)申请公布日2024.02.20

    (21)申请号202280045585.1(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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