1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

用于HT-HVPE生长大尺寸氮化铝厚膜的装置和方法.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约7.63千字
  • 约 7页
  • 2024-02-21 发布于四川
  • 举报

用于HT-HVPE生长大尺寸氮化铝厚膜的装置和方法.pdf

    本发明公布了一种用于HT‑HVPE生长大尺寸氮化铝厚膜的装置和方法，包括隔光通流装置，配合间断式生长方法。隔光通流装置至少包括：单层隔板或多层隔板及磨砂牺牲石英管；隔板内设有多个隔光通孔；气流可顺畅通过隔光通孔；光线则被隔光通孔阻挡；隔板套设于磨砂石英牺牲管内。间断式生长方法为：III族源AlCl3和V族源氨气交替通断，气流流量足够以使得气流顺利通过隔光通流部件，防止在错位或弯折斜通孔处的沉积，到达高温区并在衬底表面反应沉积生长AlN。本发明能够解决现有技术中Al源区及生长区需要温度陡变，而高温

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117568923A

    (43)申请公布日2024.02.20

    (21)申请号202311559319.3

    (22)申请日2023.11.21

    (71)申请人北京大学

    地址100871

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >