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光声气体传感器和方法.pdfVIP

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  • 2024-02-21 发布于四川
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光声气体传感器和方法.pdf

    本公开涉及光声气体传感器和方法。用于测量气体浓度的方法包括利用光脉冲加热第一气体，光脉冲具有由第一气体所吸收的波长，其中第一气体在柔性膜上施加压力。方法包括接收第一信号和接收第二信号，第一信号指示膜的第一偏斜，其中第一偏斜是由于第一气体的压力的改变所引起的，第二信号指示在第一信号之后发生的膜的第二偏斜，其中第二偏斜是由于第一气体的压力的改变所引起的。方法包括：确定第一信号和第二信号之间的差，以及基于第一信号和第二信号之间的差来确定第一气体的第一浓度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109696405A

    (43)申请公布日

    2019.04.30

    (21)申请号20181

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