原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种去除残留熔滴的V形狭槽铟砷基材料液相外延石墨舟，涉及半导体薄膜技术领域，包括盖板、母液槽块、衬底槽滑板和底座，底座具有U形槽，衬底槽滑板上开设有衬底放置槽，且衬底槽滑板能沿第一方向滑动设置在U形槽内；母液槽块与底座能拆卸地固连一起，母液槽块上开设有至少一个母液槽，母液槽在水平面上的投影能覆盖衬底放置槽在水平面上的投影，且各母液槽的一侧均设有一个V形狭槽，各V形狭槽的开口朝向均与衬底槽滑板从U形槽拉出的方向相同，V形狭槽的两端间距大于衬底放置槽宽度。通过在母液槽一侧设置V形狭槽，多
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117568921A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311540645.X
(22)申请日2023.11.20
(71)申请人中国科学院上海技术物理研究所
地址
您可能关注的文档
- 飞秒激光穿云透雾过程中沉积能量测量方法及装置.pdf
- 一种发动机生产供应商关系及供应链协同管理系统.pdf
- 检测板整体成像的光伏阵列核查方法.pdf
- 服务评价的审核方法、电子设备、介质及计算机程序产品.pdf
- 一种热噬淀粉芽胞杆菌脂肪酶突变体及其应用.pdf
- 免预分散的碳纳米管复合粉体及其制备方法和应用.pdf
- 一种海水制氢电解槽.pdf
- 基于磁共振成像多维特征检测的图像标识方法.pdf
- 一种毛板锯边机.pdf
- 一种蜂窝仿生通道与海水高效冷却耦合的舰载雷达冷却系统及运行方法.pdf
- 2025年演出经纪人演出数据跨境流动法律问题专题试卷及解析.pdf
- 2025年信息系统安全专家物联网安全日志分析专题试卷及解析.pdf
- 2025年信息系统安全专家云环境持续安全监控专题试卷及解析.pdf
- 2025年信息系统安全专家ISMS内部审核流程与技巧专题试卷及解析.pdf
- 2025年演出经纪人艺人定位与数据化运营策略专题试卷及解析.pdf
- 2025年演出经纪人商务谈判中的僵局处理与冲突化解专题试卷及解析.pdf
- 2025年演出经纪人国际演出合同纠纷解决机制专题试卷及解析.pdf
- 2025年注册项目管理师蒙特卡洛模拟在敏捷项目迭代周期估算中的应用专题试卷及解析.pdf
- 2025年AWS认证子网与AWSSimSpaceWeaver仿真网络专题试卷及解析.pdf
- 2025年AWS认证SQS与EMR集群任务调度专题试卷及解析.pdf
文档评论（0）