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附件：日本电子JEM-2100高分辨透射电镜/JSM-7600F场发射扫描电镜简介

JEM-2100高分辨透射电镜

一、主要部件

JEM-2100主机，ORIUSSC1000型CCD，牛津80mm2电制冷X射线能谱仪（EDS），双轴倾转样品杆

二、主要指标

电子枪： LaB6（六硼化镧）

点分辨率：线分辨率：加速电压：束斑尺寸：

0.23nm

0.14nm

80,100,120,160,200kV

1.0至25nm

放大倍数（高倍模式）： 2000至1,500,000

放大倍数（低倍模式）： 50至6,000

CCD分辨率：倾斜角：

4008×2672max.

±35o

采用MSWindows为基本操作界面，操作直观简便。

三．特色功能

除高分辨、电子衍射和能谱等基本功能外，该电镜还具备纳米束电子衍射（NBD）、汇聚束电子衍射（CBD）功能，适用于纳米晶体、多相合金、复合材料的衍射表征。

配备扫描透射电镜（STEM）模式，可采集STEM明场像和暗场像，并配合能谱实现微区元素分析

和元素分布图（Mapping）。

JSM-7600F场发射扫描电镜

一、主要部件

JSM-7600F场发射扫描电镜，牛津80mm2电制冷X射线能谱仪（EDS），背散射探头（BSE）

二、主要指标

电子枪： 热场发射

二次电子像分辨率：放大倍数：

加速电压：束流：

数字图像：

样品水平行程(X-Y)：倾斜角度：

1.5nm（1kV，GB模式），1.0nm（15kV）25至1,000,000×

至30kV

1pA到200nA（15kV时）

5120×3840max.

140mm×80mm

-5至+70°

旋转角度：工作距离：

360°

1.5mm至25mm

配备上方和低位SEI探测器、BSE探测器三．特色功能

GentleBeam模式（即“减速模式”）可将电子束损伤降低到最低程度，适用于不导电样品表征。

配备γ过滤器，能控制能量选择或二次电子及背散射电子像的图像混和率。

背散射探头（BSE）信号可配合二次电子像生成混合运算图像，同时获取形貌图和元素衬度图。

上述特色功能欢迎有需要或有兴趣的课题组联系试用。