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直线光源自由度调整装置及方法.pdfVIP

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  • 2024-02-24 发布于四川
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直线光源自由度调整装置及方法.pdf

    本申请提供一种直线光源自由度调整装置及方法，所述装置包括：用于容纳直线光源的安装结构、连接于所述安装结构的X轴第一移动机构、Y轴第一移动机构、第一平面旋转机构、X轴第二移动机构以及Y轴第二移动机构，所述X轴第一移动机构和所述Y轴第一移动机构分别用于将直线光源调整至X轴方向和Y轴方向的初步预设位置，所述X轴第二移动机构以及Y轴第二移动机构分别用于将所述直线光源调整至X轴方向指定位置以及Y轴方向指定位置。分别利用X轴第一移动机构和Y轴第一移动机构对直线光源进行幅度略大的移动，利用第一平面旋转机构、X

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117588720A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202311575277.2

    (22)申请日2023.11.23

    (71)申请人海宁集成电路与先进制造研究院

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