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- 2024-02-24 发布于四川
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本发明涉及焙烧炉技术领域，具体公开了三代半导体制备加压焙烧炉，包括：炉体及其内部的可变承载架；所述可变承载架包括多个相互链接的承载节点，多个所述承载节点可形成三种状态并相互转化；其中，在第一种状态下，多个所述承载节点可形成左右等高的U型吊篮状态，在第二种状态下，将左右等高的U型吊篮状态转为具有高低落差的U型吊篮状态，在第三种状态下，部分相连所述承载节点形成水平状态的输送状态；可控制多个承载节点在三种状态间切换的控制器；用于检测坯体是否过度膨胀或收缩的监视器，本发明能够使坯体的各个部位均能够暴露在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117588950A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202410072337.7
(22)申请日2024.01.18
(71)申请人福建福碳新材料科技有限公司
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