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本发明属于光学准直技术领域，提供了一种真空紫外谱仪调试方法及系统，其中方法包括：搭建水准仪，将调试基板调整水平并固定；在调试基板上作辅助线，各辅助线之间或平行或相交，然后基于多个辅助线的交点位置安装多个经纬仪；基于经纬仪发出的模拟光安装真空紫外谱仪的零部件，零部件包括光源、前置镜和准直镜等。本发明在光学准直的过程中，在调试基板上作出多个辅助线，利用辅助线对经纬仪进行定位，然后通过经纬仪的模拟光进行设备定位，从而提高了整个系统的精度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117589304A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311693076.2
(22)申请日2023.12.05
(71)申请人安徽创谱仪器科技有限公司
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