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一种薄膜测量装置、方法、电子设备和存储介质.pdfVIP

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  • 2024-02-24 发布于四川
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一种薄膜测量装置、方法、电子设备和存储介质.pdf

    本发明提供一种薄膜测量装置、方法、电子设备和存储介质，包括：光源模块、处理模块和信号发送接收模块；所述信号发送接收模块包括信号输入端、信号发射端、信号接收端和信号输出端；所述光源模块用于输出检测光信号；所述信号发射端用于向待测薄膜发射所述检测光信号，所述信号接收端用于接收被所述待测薄膜反射的反射光信号；所述处理模块用于根据所述反射光信号分析所述待测薄膜的厚度，从而实现抛光过程的薄膜厚度的实时检测，避免薄膜抛光不足或过抛，从而大大提升了晶圆良率和生产效率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117589074A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202410070644.1

    (22)申请日2024.01.18

    (71)申请人无锡卓海科技股份

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