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2023年等离子体沉积和刻蚀设备项目规划设计纲要.docx

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目规划设计纲要

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z29733前言 3

    8626一、等离子体沉积和刻蚀设备项目土建工程 3

    14876(一)、建筑工程设计原则 3

    19870(二)、土建工程设计年限及安全等级 4

    32002(三)、建筑工程设计总体要求 5

    28812(四)、土建工程建设指标 6

    4737二、等离子体沉积和刻蚀设备项目选址可行性分析 6

    29147(一)、等离子体沉积和刻蚀设备项目选址 6

    4941(二)、用地控制指标 7

    739(三)、节约用地措施

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