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一种定位精准的晶圆传送装置.pdfVIP

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  • 2024-02-24 发布于四川
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一种定位精准的晶圆传送装置.pdf

    本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种定位精准的晶圆传送装置，包括底座和固接于底座侧壁的第一电机，所述底座内转动设置有固接于第一电机输出端的第一齿轮，所述底座内转动设置有连杆，所述连杆位于底座内的一端外壁固接有与第一齿轮啮合连接的另一个第一齿轮，所述连杆另一端固接有固定架，所述固定架内固接有第二电机，所述第二电机输出端固接有第一气泵，所述第一气泵底端连接有推杆，所述推杆底端设有夹持机构。本发明提供的一种定位精准的晶圆传送装置，通过滑动架、连轴、连板、和转柱的传动，使得四个滑动架向内侧移动的距离相

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117594510A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202311588223.X

    (22)申请日2023.11.27

    (71)申请人苏州赛美达半导体科技有限公司

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