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真空制程系统及其智慧型阀门.pdfVIP

真空制程系统及其智慧型阀门.pdf

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    本发明公开了一种真空制程系统及其智慧型阀门，真空制程系统包含智慧型阀门、周边单元及制程室，周边单元与智慧型阀门系提供对应之运作环境与移动模式使得制程室进行真空制程。其中，当周边单元重复提供运作环境和/或智慧型阀门重复提供移动模式时，处理及控制单元系接收及分析感测单元先后获得之两感测数据间是否存在差异或者感测单元所获得之感测数据与预设数据间是否存在差异，借以判断智慧型阀门、制程室或周边单元是否存在异常现象。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117588595A

    (43)申请公布日2024.02.23

    (21)申请号202310055922.1

    (22)申请日2023.01.13

    (66)本国优先权数据

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