一种用于裂缝监测的无线无源高温传感器及其制备方法[发明专利].pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109342460A

(43)申请公布日

2019.02.15

(21)申请号201811058050.X

(22)申请日2018.09.11

(71)申请人中北大学

地址030051山西省太原市学院路3号

(72)发明人董和磊康文芳熊继军谭秋林

张文栋赵利辉王红亮

(74)专利代理机构太原晋科知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)14110

代理人任林芳

(51)Int.Cl.

G01N23/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种用于裂缝监测的无线无源高温传感器

及其制备方法

(57)摘要

本发明属于传感器技术领域，提出了一种裂

缝检测和监测的无线无源传感器及其制备方法，

该传感器包括接地板、介质层和辐射贴片，所述

接地板和辐射贴片为导电金属制成，所述介质层

的材料为低温共烧陶瓷，所述介质层位于所述接

地板上方，所述辐射贴片为矩形且位于所述介质

层上方，并与所述接地板之间形成谐振腔。本发

明既能检测裂缝存在而且能对裂缝的宽度进行

量化表征，可以应用到高温、高压、高旋转、高负

载的恶劣环境下，如航天发动机涡轮叶片领域。

A

0

6

4

2

4

3

9

0

1

N

C

CN109342460A权利要求书1/2页

1.一种用于裂缝监测的无线无源高温传感器，其特征在于，包括接地板(1)、介质层(2)

和辐射贴片(3)，所述接地板(1)和辐射贴片(3)为导电金属制成，所述介质层(2)的材料为

低温共烧陶瓷，所述介质层(2)位于所述接地板(1)上方，所述辐射贴片(3)为矩形且位于所

述介质层(2)上方，并与所述接地板(1)之间形成谐振腔。

2.根据权利要求1所述的一种用于裂缝监测的无线无源高温传感器的制备方法，其特

征在于，包括以下步骤：

S1、根据传感器的频率，确定传感器的尺寸参数；

S2、氧化铝生瓷片的制备：将氧化铝粉末、水、分散剂按3:2:1的比例混合并进行一次球

磨，时间为24小时，加入苯丙乳液2ml作为粘结剂，加入1.5ml甘油作为塑化剂，使它们混合

均匀后进行第二次球磨混合，然后加入除泡剂进行真空除泡，调节合适的刀口高度和流延

速度在流延机上成型，然后对坯片进行干燥和脱膜处理获得氧化铝生瓷片；

S3、切片：将制作好的氧化铝生瓷片按设定尺寸切割，切割出多片同样大小的生瓷带；

S4、丝网印刷：根据接地板(1)和辐射贴片(3)的尺寸制作两个网板，利用制作好的网板

在切割好的生瓷带上分别旋涂出接地板(1)和辐射贴片(3)；

S5、叠片和层压：将辐射贴片放在最上层，接地板放在最底层，中间用没有金属图案的

生瓷带进行叠加，叠加完成后得到基片；然后将基片利用包膜进行包裹，设置层压机的温度

为70℃，静压大小为21MPa，将包裹后的基片置于层压机中进行20min的等静压层压；

S6、烧结：将层压后的传感器结构置于有氢气保护的高温炉中进行热流传感器结构的

高温共烧，最后完成了传感器的制备。

3.根据权利要求2所述的一种用于裂缝监测的无线无源高温传感器的制备方法，其特

征在于，所述步骤S1中，确定传感器的尺寸参数包括以下步骤：

S201、初步确定传感器的尺寸参数；所述传感器的尺寸参数包括辐射贴片的宽度w和辐

射贴片的长度L；辐射贴片的宽度W和长度L应分别满足：

其中，ε表示介质层的介电常数；c表示光速，f表示传感器的工作频率，ε表示有效介电